日本愛發科ULVAC LS120A、LS300A、LS600A、LS1200A螺杆型幹泵

簡要描述：特點■大氣壓附近的排氣速度高，可以縮短排氣時間

產(chan) 品型號：

所屬分類：行業(ye) 專(zhuan) 用儀(yi) 器儀(yi) 表

更新時間：2025-09-29

廠商性質：生產(chan) 廠家

詳情介紹

特點

■大氣壓附近的排氣速度高，可以縮短排氣時間。
■ECO-SHOCK技術實現低功耗（C型號）
極限壓力下的功耗為(wei) 0.6 kW或更低（LS120A-C）
■配有專(zhuan) 用的消音器。極限壓力下的噪音水平為(wei) 61 dB（A）或更低
■無需先前所需要的軸封氣體(ti) 。※L型可以使用稀釋氣體(ti) 。
■排氣速度120-1200 m3 / h級　※可與(yu) 機械增壓泵結合使用可以根據應用選擇排氣能力的型號

用途

C 規格：清潔工藝　（LS A-C）
特征：低功耗型，內(nei) 置ECO-SHOCK
用途：用於(yu) 清潔氣體(ti) 排氣，如空氣排氣和N2排氣
濺射/蒸發/貼合/load lock室/TMP輔助等等
L 規格：輕工藝（LS A-L）
特征：具有表麵處理和清洗功能的輕工藝類型
用途：用於(yu) 輕工藝，如水蒸氣和揮發性化學液體(ti) 排氣
真空幹燥/冷凍幹燥/塵化/一般產(chan) 業(ye) 用途等等