詳情介紹
注明:本型號為(wei) 磁控,與(yu) 進口的差不多,適合客戶放大倍數高,
此款TZZN-1000型小型磁控離子濺射儀(yi) 主要用於(yu) SEM製樣樣品鍍導電膜(如金膜)或材料鍍膜,儀(yi) 器性能穩定,操作簡單方便。采用磁控冷態濺射,基本不升溫,限度保護樣品。
主要特點:
² 顯示操作麵為(wei) 30°斜麵,充分考慮操作的便捷和視覺體(ti) 驗,方便觀察操作;
² 真空泵連接管路為(wei) 金屬波紋管,美觀耐用;
² 微調閥調節靈敏準確,帶有刻度標識;
² 真空泵抽速快,噪音低,適合實驗室使用;
² 控製電路為(wei) 控製板,工作穩定可靠;
² 顯示控製操作部分布局合理,位於(yu) 同側(ce) ,使用方便;
² 磁控冷態濺射,基本不升溫,限度保護樣品;
技術參數:
1.樣品室空間:直徑120mm×高110mm
2. Pt靶為(wei) 標配,靶材尺寸:φ50mm×0.1mm
3.獨立真空控製電路設計,實現真空度和濺射電流,安全互鎖,可調電流40mA;
4.侵入式磁控低溫離子源,可快速更換靶材,環繞暗區護罩;
5.使用獨立計時控製器,精準計時,可調設置範圍:1-500秒,連續可調
6.自動真空泄氣功能,自動排氣,可通過數字定時器進行控製
7.進口真空泵,抽速8.5m3/h,噪聲不大於(yu) 48dB,可置於(yu) 抗震台上,全金屬集成耦合係統
8.微型真空氣閥:高精度微量流量閥,精度±0.1Pa
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