詳情介紹
離子濺射儀(yi) 是依據二(DC)直流濺射原理設計而成的,、可靠、經濟的鍍膜設備。適用於(yu) 電鏡實驗室的掃描電子顯微鏡(SEM)樣品製備,非導體(ti) 材料實驗電製作。
1.靶(上部電):材料:金,直徑:50mm,厚度:0.1mm 純度:99.999%
2、真空室:直徑:160mm,高:110mm
3.樣品台(下部電):濺射麵積:直徑:50mm
4.工作真空: 2×10-1—8×10-2 mbar
5.離子電流表:電流:50mA
6.計時器:根據濺射習(xi) 慣設定單次濺射時間
7.電壓:-1600DVC
8.機械泵:2升/每秒
9.工作室工作媒介氣體(ti) :空氣或氬氣
10.真空氣閥: 配有氬氣進氣口和微量充氣調節
,可連接φ4×2.5mm軟管

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